시스템 개요 및 목적

본 시스템은 Electronic Nano Stage에 대한 성능 평가를 위한 Stage 평가용 Software 입니다. 해당 시스템에 적용되어 있는 Stage는 나노 단위의 정밀한 움직임을 가지고 있는 Stage입니다. 이렇게 정밀한 Stage가 움직임을 Camera로 촬영하여 정확도, 정밀도, 위치정밀도, 반복위치결정도 등의 평가를 하기 위한 시스템입니다.

소프트웨어

• LabVIEW 2015

• NI Vision 15.0

하드웨어

• NI Vision (LIN Interface)

소프트웨어설명

2EA Stage 상당에 기준 시료를 올려 놓고 Camera로 촬영 후 패턴을 생성하게 됩니다. 이 때 생성된 패턴은 추 후 Stage 평가 시험 종류에 따라서 Stage가 움직인 후 패턴 매칭에 사용됩니다. 여러가지의 Stage 평가를 토대로 Stage의 정밀도, 정확도, 반복위치결정도, 위치정밀도 등 Stage 이동에 대한 Performance를 평가하게 됩니다. 해당 Software에는 Stage Tester Mode, Image Calibration, Data Reviewer 기능이 있습니다.